TZM 합금 이온 이식 구성 요소

TZM 합금 이온 이식 구성 요소 설명

이온 주입은 반도체 장치 제조, 금속 마감 및 재료 과학 연구에 널리 사용되는 중요한 공정입니다. 이식기 시스템의 가장 중요한 부분은 구성 요소가 결합되는 빔 경로입니다. 여기서, 이온들은 생성되고, 농축되고, 가속되고, 웨이퍼를 향해 표적화된다. 이온 주입 구성 요소는 종종 TZM 합금, 몰리브덴, 텅스텐으로 만들어지는데,이 재료는 내식성, 강도 및 높은 열전도율의 조합을 가지고 있으며 가혹한 환경에서 잘 수행 될 수 있기 때문입니다.

TZM 합금 이온 주입 구성 요소 특성

● 높은 융점

● 뛰어난 크리프 저항

● 우수한 내식성

● 좋은 전기 및 열 전도도

● 뛰어난 순도

TZM 합금 이온 이식 부품 응용 및 관련 산업

● 반도체 제조에 사용됩니다.

● 공구강 강화 및 표면 마무리를위한 금속 마무리에 사용됩니다.

● 이온 빔 혼합에 사용되어 등급이 매겨진 인터페이스를 달성하고 비혼화성 물질 간의 접착력을 강화합니다.

● 챔버 (텅스텐, 몰리브덴 및 합금)

● 필라멘트 (텅스텐 및 텅스텐 합금)

● 아크 슬릿 (텅스텐, 몰리브덴 및 합금)

● 홀더 (텅스텐, 몰리브덴 및 합금)

● 음극 (텅스텐, 몰리브덴 및 합금)

● 예비 부품 (텅스텐, 몰리브덴 및 합금, 세라믹, 강철)

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